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    三重保障来防范气体外泄进入到工作环境中。

    1、一个是的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路。

    2、安置持续不断的排气抽风系统，管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的的泄漏，排气抽风系统将第一时间抽出。

    3、另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的氯化氢气体侦测器系统，若发生任何泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据氯化氢气体外泄对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。

    因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。