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本实用新型供给一种氯化氢气体枯燥设备，其包罗塔体，塔体顶部设有氯化氢气体出口，底部设有氯硅烷液体出口，塔体上还设有氯化氢气体进口、氯硅烷液体进口、以及冷媒进口和冷媒出口，氯化氢气体进口处装设有管道，所述管道在塔体内向下延伸，冷媒进口和冷媒出口设于塔体下部，冷媒进口和冷媒出口之间经过内盘管连通。本实用新型含水氯化氢经氯化氢气体进口与氯硅烷液体进口喷入的氯硅烷充沛触摸，使水分反响生成氯化氢。该设备布局简略、成本低、便于出产施行，且可以到达脱水深度需求，将氯硅烷别离可得到纯洁的气体。